晶圆及光掩膜版水洗-Spin干燥设备离子化静电消除技术方案

Soft X ray离子化的高效静电中和消除技术，适应于高湿环境，包括晶圆的高速水体清洗及spin干燥、光掩膜版的水洗-spin干燥工序等。