新闻中心 半导体制造,涵盖集成电路、分立器件、微电机系统(MEMs)、声表面波(SAW)器件、LED芯片(背光与照明)等,自前段的Fab到后段的封装测试,涉及大量生产工序伴随着静电的产生、累积,并直接危害半导体器件的生产良率与器件的工作可靠性。