专利型常压等离子设备EOS风险评测装置

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专利型常压等离子设备EOS风险评测装置

产品名称

专利型常压等离子设备EOS风险评测装置

产品属性

适用于所有常压等离子设备 EOS风险评测
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产品介绍

本专利型装置适用于微电子生产制造中常压等离子设备的EOS风险评测，尤其是针对FPD产品模组制造段、TP产品模组制造段。

附图：FPD模组等离子清洗设备的高EOS泄露风险实测波形图

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